平坦化加工装置（ポリッシングシステム）
金属や高分子接着材などの軟材料に対し、水平方向の加工で高精度な平坦性を実現し、加飾構造の可能性を拡張します。

製品特長

• セミオートKL-Mシリーズ／フルオートKL-Aシリーズ

• 8インチ・12インチなど、さまざまな基板やウェハーサイズに対応

• 軟材料に特化した水平方向の加工

• 高精度な平坦性制御

• 埋め込み構造の露出が可能