高平面度吸嘴
高平面度吸嘴

半導體製程中自動化搬運系統的重要元件,主要用於真空吸附晶圓、晶片或元件,協助移載、定位與貼附等動作。

  • 高精度與穩定性:確保元件在搬運過程中不滑動、不損傷
  • 材質多樣:依應用選用陶瓷、金屬、不沾膠材(如POM、PEEK等)
  • 可客製孔徑與形狀:對應不同晶片尺寸與形狀需求
  • 耐磨耐熱:適應高速搬運與特殊製程環境