高平坦度ノズル
高平坦度ノズル

半導体製造プロセスにおける自動搬送システムの重要部品であり、ウエハーやチップ、部品を真空で吸着し、搬送・位置決め・貼り付けなどの作業を補助します。

  • 高精度かつ安定性:搬送中の滑りや損傷を防ぎます。
  • 多様な材質に対応:用途に応じてセラミック、金属、非粘着性素材(POM、PEEKなど)を選択可能。
  • 孔径や形状のカスタマイズ可能:さまざまなチップサイズや形状に対応可能です。
  • 耐摩耗・耐熱性:高速搬送や特殊プロセス環境にも対応可能。